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什么是靶材? 答：靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。目前，（纯度）溅射靶材按照化学成分不同可分为：1）金属靶材（纯金...
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